上海新阳：公司干法蚀刻后清洗液已实现14nm以上技术节点全覆盖

　　9月20日在互动平台回答投资者提问时表示，公司的电镀液及添加剂产品已覆盖90-14nm技术节点，干法蚀刻后清洗液已经实现14nm以上技术节点全覆盖。