华海清科：CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖 目前已批量供货

　　时称，公司CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖，目前已批量供货；14nm制程的几个关键工艺CMP设备已经在客户端同步开展验证工作。

　　公司的晶圆再生业务进展顺利，已通过多家客户的验证，现已实现双线K/月。此业务获得多家大生产线的批量订单，公司也正在按照计划进行扩产。