比利时IMEC用阿斯麦EUV设备实现纳米孔全晶圆级制造

　　比利时微电子研究中心借助阿斯麦最先进的极紫外光刻设备，完成了纳米孔的全晶圆级制造。纳米孔的特性在生物医学领域研究价值极高，阿斯麦公司公关负责人称其为公司设备“一项出人意料的卓越生物医学应用”。 鉴于纳米孔为分子传感技术带来广阔前景，此次突破或成为该领域重要进展。

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