至纯科技：三季度半导体设备的产能正在按扩产计划逐步提高中预计

　　至纯科技在互动平台表示，公司三季度半导体设备的产能正在按今年的扩产计划逐步提高中，预计年底产能可达150台。晶圆再生业务今年度将产生部分收入。